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石英坩锅真空层面表面的气泡改善

项目编号:XP389C0D5758

项目状态:结束

项目分类: 非金属加工

所在地:江苏 / 南通

需求内容:

石英坩锅在高温熔制过程中通过利用真空泵抽真空减少真空层的气泡含量,尽管如此,在坩锅真空层的内表面仍然存在一定数量气泡,气泡含量多会对硅单晶的成晶率、晶体样含量等产生不良影响。寻求能够有效去除表面气泡的技术。