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单晶硅生产电阻率集中度控制技术

项目编号:XP383C955D40275

项目状态:已发布

项目分类: 非金属研发指导

所在地:河南 / 洛阳

需求内容:

单晶硅棒生长过程需要保证其电阻率在整个晶体长度和横截面上的均匀性,保持工艺稳健性和可重复性对于确保电阻率集中度的批量生产意义重大。

期望与本领域专家合作,达到如下技术指标:
降低电阻率目标值偏离度、提升电阻率集中度控制,电阻率变化 ≤ 士0.5%。

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