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单晶炉加热装置新型材料开发与应用

项目编号:XP383C955D40274

项目状态:已发布

项目分类: 非金属研发指导

所在地:河南 / 洛阳

需求内容:

单晶硅生长过程加热装置采用石墨材料,长时间使用不但出现腐蚀现象,且在物料流转过程中容易断裂,开发新型可替换材料成为重点需求。


寻技术专家展开合作,达成如下技术指标:

1)炉体表面温升 ≤ 35℃;

2)炉温稳定度 ≤ 士2℃;

3)等径功率能耗 ≤ 60kwh/kg。


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