设备抽空气的流量范围为20ml/min-1500ml/min， 精度要求 5%。出厂标定为多点标定拟合出流量曲线，使用的是质量流量，实际使用为体积流量。理论上质量流量与体积流量存在一个比例 关系或密度关系。那么假设使用质量流量标定以后，将抽气设备 的流量设定为 1000ml/min，此时为质量流量，再使用体积流量传 感器测试，假设测试为 1012ml/min，从而获得比例 k，使用比例 K 修正出厂标定的曲线转换为体积流量曲线。此时设定 20ml/min 到 1500ml/min 的任意流量，使用体积流量传感器测试各个流量点 均为准确的体积流量。

       现阶段研究了分开低流量、高流量进行 K 值修正，能保证体积的曲线准确。温度和大气压补偿以后反倒流量不准确。目前环境变化时候是需要重新进行流量校准。初步认为不论是体积流量传感器还是质量流量传感器，其精度都是传感器全量程精度。现急需联合专家共同研究质量流量及体积流量转换及补偿算法。