技术简介
1987 年Bagwell和Bray在石英基片上首次实现了高Q值声表面横波（简称STW）谐振器。声表面波谐振器是在两个反射器单元之间设置激励和接收IDT（叉指换能器），使IDT传播的能量反射到接收IDT上，信号谐振，减少损耗。声表面横波谐振器与瑞利波型谐振器不同之处，是在两IDTs之间加入了短路栅结构，使掠面体波(简称SSBW)能被嵌制到石英基片表面，而不是深入基片内传播，其结构图如下。
压电石英基片上高频声表面横波谐振器，具有一阶温度系数为零，比瑞利型声表面波高1.6倍的声传播速度，由于石英基片上激励的表面横波信号只有基波模式，而不像瑞利型声表面波那样有高阶模式，因此，声表面横波谐振器的损耗更低。
●压电石英基片高频率声表面横波谐振器声传播速度：5050m/s；
●压电基片：石英；
●一阶温度系数为0；
●工作频率：2400MHz；
●损耗：≤10dB。
●频率温度稳定度：3×10-4（-40℃～+70℃）（设计值）；
●年老化率：10-6（设计参考）；
●工作温度：-40℃～+60℃；
●储存温度：-55℃～+125℃。
技术特点
声表面横波谐振器具有稳定的频率温度系数（其一阶温度系数为零），高的声传播速度（其声速是瑞利型声表面波的1.6倍），低的传播损耗，好的1/f相位噪声，高的功率承受能力，低的老化率和振动灵敏度等，是高频谐振器和极窄带谐振滤波器的理想声波器件。
声表面横波谐振器的制作是在压电基底上采用半导体加工工艺，稳定性高、重复性好、易于批量生产，由于采用压电石英基底上制作，具有极高的温度稳定性和可靠性。
目前，在民用方面，声表面波谐振器应用广泛，在民用领域的应用，主要有电话系统、电视广播工程、应答式干扰系统、卫星通讯及定位（GPS）系统，扩频通讯系统，识别和定位系统、导航系统、无钥匙进入和保密警戒系统、传感器系统、锁相频率本振源等。
STW谐振器与瑞利型声表面波具有相同的工艺，而在同样的工艺条件下，制作出同样宽度的IDT指条， STW激励的频率是瑞利型声表面波频率的1.6倍高。因此，在制作高频器件时，声表面横波谐振器更适合。
预期效益
声表面横波谐振器作为民用技术发展，将提高其性能，在高性能传感器（如生物传感器、无线温度传感器）、语音通话、高性能本振源、信号处理模块系统、遥测遥控等发挥重要作用。预计将创造巨大的经济效益。