技术成果简介
硅微机械陀螺仪是一类重要的MEMS仪表，广泛应用于汽车、卫星、手机及武备系统，由微陀螺和微加速度计组成的微惯性测量单元（MIMU）是微惯性导航系统（MINS）的核心，MINS与GPS等组合可广泛应用于中低精度的导航、制导系统。
本方向创立于20世纪九十年代初，经过十多年的努力，已形成较明显的特色和优势。图1是自主设计研制的单自由度硅微陀螺仪，图2是自行研制的硅微陀螺真空封装表头，图3是自行研制的集成三轴硅微陀螺仪实验室样机，图4是自主开发的MINS/GPS系统。
自主开发的单轴硅微陀螺仪
硅微陀螺真空封装表头
三轴硅微陀螺仪
MINS/GPS系统
技术成熟程度
试生产阶段
成果所属领域
装备制造
意向合作方式
技术咨询；技术服务
