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项目简介
将图像定位与激光定位技术相集成，由图像定位技术自动定位至250微米的光栅捕捉范围内，再由激光光栅定位技术实现误差为±5微米的高精度平面定位。由此构成捕捉范围宽、定位精度高的一体化精密定位系统。
所属领域
装备制造
项目成熟度
研制阶段
合作方式
合作开发
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