行业背景
电子级氢氟酸,又名高纯度氢氟酸,主要用途有:
(1)集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片中作为蚀刻剂和清洗剂用。用于晶圆表面清洗,芯片加工过程中清洗刻蚀工序;
(2)太阳能光伏行业,用于硅片表面清洗;
(3)液晶显示屏行业,用于玻璃基板清洗,氮化硅、二氧化硅蚀剂;
(4)TFT-LCD 半导体产业中广泛应用;
(5)分析试剂,原子能工业化学试剂,制备高纯含氟化学品。
电子级氢氟酸属于半导体用湿电子化学品中通用的湿化学品,可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用。电子级氢氟酸按纯度划分 EL、UP、UPS、UPSS、UPSSS 五个级别。
全球电子级氢氟酸的生产技术和供给主要被 Stella、大金、森田化学等日企所掌握。由于行业壁垒高,技术工艺难以突破,我国电子级氢氟酸行业起步较晚。
我国作为庞大的电子、通信、汽车、工业自动化等终端消费市场,对集成电路的需求量非常大,集成电路整体产业呈稳健增长的趋势,而本土集成电路产业规模依然较小。随着世界半导体制造业向中国大陆的逐步转移,中国半导体行业将快速增长,下游需求以集成电路、太阳能光伏、液晶显示屏等领域为主,将推动电子级氢氟酸行业快速发展。
根据市场数据,目前电子级HF市场规模为2.7亿美元,预计到2025年将达到3.9亿美元。由于亚洲和北美电子制造业的增长也推动了电子级 HF 市场的发展,预计未来几年,随着国内外企业在光刻和清洗领域的持续投资,电子级氢氟酸市场规模将继续扩大。
在确保产品竞争力的前提下,当前切入 UPSSS 级 HF 项目是一个较好的时机,产品市场前景看好,市场风险很小。
技术简介
本项技术产品定位为 UPSSS 级高端电子 HF,技术工艺在国内外处于领先地位。
技术优势
项目团队在国内现有的各类工艺基础上,做了大量的工艺和设备两方面的优缺点分析及改进措施。结合自身内部强大的研发实力和先进分析仪器,在新型反应、结晶、干燥设备以及原料品质和产品质量分析积累了大量实验和生产基础。解决了行业内普遍存在的重大问题:
(1)项目使用全连续流程,反应工段可实现黑屏操作;
(2)解决行业普遍存在的杂质离子难处理,纯度不高的情况;
(3)关键设备保证装置长久运行,非计划停车降低为 0,同时确保金属离子处于行业领先地位。
(4)本装置建成后可实现柔性化生产,产品级别根据客户需要 G1-G5 不等;
(5)产品质量处于国际领先水平。
技术成熟度
可工业化
合作方式
技术转让