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KrF光刻胶重要中间体——4-乙酰氧基苯乙烯的制备工艺

技术简介

4-乙酰氧基苯乙烯是合成KrF光刻胶的重要中间体。

本技术采用催化脱羧法制备4-乙酰氧基苯乙烯。


技术优势

① 纯度大于99%,目前国内能做到这个纯度的不多;

② 本技术毛利润约50%。


技术成熟度

已量产


合作方式

技术转让