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各种高难度光学元件刻划的研制与生产【寻合作伙伴】

1.技术优势

我们的产品是由微制造技术,即半导体制造(Semiconductor Manufacturing)、印刷电路板制造(PCB Manufacturing)、精密机械加工(Precision Machining)、精密成型(Precision Forming)等制造技术整合与改良而成,可用于制作具有1微米至数百微米之微米尺寸构造(简称微结构(microstructures))的零部件(components)或组件(devices),作为光学产品的关键性零部件


2.凹槽微结构玻璃板技术简介

在玻璃上面制作精度很高且符合光学等级要求的微米尺寸构造的凹槽是非常困难,以微制造技术为基础发展镀膜工艺(Thin film Coating)、黄光微影工艺(Photolithography)、蚀刻工艺(Etching)等,可使玻璃被制作成为具有凹槽微结构与特定图案薄膜的玻璃板,目前该工艺已开发完毕实现量产。

在玻璃表面制作阳文结构的特定金属图案,金属线宽量产最小尺寸0.003mm,线间距量产最小尺寸0.005mm。

在凹槽微结构中填充注入特定物质,以实现各种特殊功能,比如夜明。


3.技术应用

(1)可用于瞄准镜

瞄准镜分划板是光学玻璃上面具有线条、十字、圆点、数字等图案所构成的标记图案的镜片,传统做法是在光学玻璃上面印刷油墨形成标记图案,但其图案精度不佳只适合于低阶的瞄准器应用。近年来针对中高阶的瞄准器,市面上已有光学玻璃上面具有标记图案凹槽且该凹槽内填有颜料入色的瞄准镜片,在光源照射下颜料会发亮形成发亮的标记图案可作为夜间或天色较暗时瞄准使用,该瞄准镜分划板即为凹槽微结构玻璃板。

传统金属十字线&玻璃十字线


(2)光学编码器码盘(光栅盘)

光电编码器是一种通过光电转换将输出轴上的机械几何位移量转换成脉冲或数字量的传感器。光电编码器是由码盘(光栅盘)和光电检测装置组成。码盘(光栅盘)是在一定直径的圆板上等分地开通若干个长方形孔。由于光电码盘与电动机同轴,电动机旋转时,码盘(光栅盘)与电动机同速旋转,经发光二极管等电子元件组成的检测装置检测输出若干脉冲信号;通过计算每秒光电编码器输出脉冲的个数就能反映当前电动机的转速。

这对于马达的精度,转子稳定性具有决定性意义。

使用光电编码器的马达具有稳定性高的特点,被广泛应用在需要高精度的设备业,精密制造业,机器人产业等等,这些产业都需要高精度马达。

我们可以生产高解析度码盘(光栅盘),10cm周长(启始区8cm)的圆盘,可以做到84000条明暗解析度以上(L/S:1.5um) 。


(3)调制盘

调制盘可以用光刻的方法在基板上刻出许多透光和不透光的栅格。

通常调制盘被置于光学系统的焦平面上,位于光点探测器之前。当目标像与调制盘之间有相对运动时,调制盘的透光与不透光栅格切割像点,使得通过调制盘的恒定辐射能量变成随时间变化的断续辐射能量,并使这断续辐射能量的某些特征(幅度、频率、相位等)随目标的空间方位变化。

调制盘是目标追踪设备的核心部件,其精度将决定对于目标的识别程度,高精度调制盘可以增强对于追踪目标的识别清晰度和对于强背景弱目标的有效追踪效率,可以应用于需要对于特定目标进行定位的各类探测器,如电磁波、声波、图像等任何发出各种波或反射各种波的目标,进行有效的识别与追踪。


(4)其它应用

分划板还可以应用于,高档望远镜、高档显微镜、全占仪、天象仪、大地测量仪、医疗光电仪器,糖度测量仪、几何光学像质评价仪等等,在天文学医学大地测量领域等具有广泛用途的光学测量仪器。

我们的产品还可应用于,网格结构、高精度分辨率板等等。


4.产品规格(量产)

我们可以加工生产各种高精度、高难度、特殊化的光刻元件;
可以生产直径为2毫米、厚度为0.3毫米的超小、超薄型元件;
也可以依据客户需求生产各种尺寸分划板。
我们对于硅晶圆、玻璃、高分子材料、金属材质等等,都可以进行刻蚀工艺的生产。

5. 工艺精度(量产)

具体产品量产工艺精度:以瞄准镜分划板为例

瞄准镜分划板工艺程序:
瞄准镜分划板制造是由几个程序所组成,
第一程序-玻璃切割及磨边;
第二程序-研磨与镀膜及清洗;
第三程序-黄光微影制程;
第四程序-微结构成型;
第五程序-入色与烘烤;
第六程序-镜片切割与倒角及斜角。
瞄准镜分护板依玻璃板具有凹槽微结构或具有特定图案薄膜的差异可区分成5种产品,包括蚀刻半成品瞄准镜分划板、蚀刻成品瞄准镜分划板、镀膜成品瞄准镜分划板、进阶半成品瞄准镜分划板、进阶成品瞄准镜分划板,其中凹槽微结构未入色的称为半成品而有入色的称为成品。


6.相关设备


7.结论

科研实力:我们具备雄厚的科研实力,与各大院校及科研院所,都保持了很密切的良性互动关系,能及时的把各种最新的半导体工艺科研成果应用于各种高难度光学元件刻划的研制与生产,为满足广大客户需求提供自己应尽的力量。

独特创新:玻璃瞄准元件将取代传统裸空十字线瞄准构件,目前全球只有一家瑞士公司与一家南京公司进入量产(注:日本产品的价格没有竞争优势),以独特创新技术已自主研发完成玻璃瞄准元件量产工艺,未来随着瞄准镜由传统裸空十字线瞄准构件向玻璃瞄准镜元件升级,将抢占庞大商机。

工艺先进:玻璃瞄准元件的量产工艺是光学元件刻划生产的最基础最精密的高端技术与量产工艺先进性的最直接体现。