技术简介
全国三大石油公司，中国石油、中国石化和中国海洋石油总公司对检波器年使用量约500万只，检波器的年更换率一般高于15%。
本项目是将军用制导、导航用的高精度MEMS加速度传感器通过技术、降低成本、批量制造、应用验证，实现在石油勘探、煤矿勘探领域的应用，打破国外公司在该领域的技术垄断。技术特点
本项目采用MEMS梳齿电容方案代替传统的动圈式和压电式，具有小体积重量、低功耗、零频响、高分辨率、智能化的突出优点。动圈式传感器低频性能差，1Hz以下噪声急剧增加，低于0.17Hz的振动信号不能识别，无法满足石油浴勘探队超低频和宽带宽的需求；压电式传感器低频性能差，10Hz以下噪声急剧增加。另外，MEMS加速度传感器可批量制造、成本低、体积小、产品重复性好。由于MEMS加速度传感器的突出优点在数字检波器领域，MEMS电容式加速度传感器是技术发展趋势。
国内的MEMS高精度数字检波器研究处于样品研制阶段。我司自1996年开始，承担了国家MEMS加速度传感器相关领域的重大专项、预研、型号研制等项目50多项，在产品技术指标、工程型号应用、批量制造能力等方面均处于领先水平，产品的主要技术指标达到国际先进水平。技术指标
分辨率：≤1×10-6g；技术水平
国际先进
可应用领域和范围
主要应用于石油勘探、煤矿勘探等领域。也可应用于地震监测、地下文物保护等领域。
专利状态
已取得专利8项
技术状态
小批量生产、工程应用阶段
合作方式
合作开发、融资需求
投入需求
5000万元
转化周期
2年
预期效益
国家正在开展东部老油区的“二次”精细勘探、西部的大规模地质探查，全国三大石油公司，中国石油、中国石化和中国海洋石油总公司对检波器年使用量约500万只,检波器的年更换率一般高于15%。
本项目完成后，达到年产50万只的生产能力，销售不少于20万只，实现销售输入1亿元。