低温等离子体包括大量高能电子， 高能电子撞击气体分子 （如： N2， O2， H2O)后会产生活性粒子 （如：N2*、O 和▪OH 等） ；高能电子和活性粒子直接氧化各种有机废气分子，使其迅速形成小分子碎片，最终降解生成 CO2 和 H2O 等。低温等离子体具有去除率高、成本低、设备适应性强、占地面积小、便于操作控制、开停方便等优点。因我司对此技术并不了解，故欲寻求有能力的单位共同研究开发低温等离子处理技术，或直接购进成熟的低温等离子技术，使其能直接应用于废气的治理。