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降低PECVD的色差

项目编号:XP382C1121D5450

项目状态:结束

项目分类: 通用

所在地:浙江 / 嘉兴

需求内容:

公司在生产太阳能硅片时,有用到PECVD这一流程,但是由于真空泵管的路弯头太多,影响了抽真空的效率,这样会造成PECVD的颜色跨度大。现在需求相应的技术和手段来解决这样的PECVD颜色跨度大。