我司因业务需要，寻晶圆片清洗设备非标设计。

晶圆片在工艺槽之间的移动，通过机械手可完成。

本项目定制的清洗设备需实现：
晶圆片干进干出，自动上料、自动下料，自动配液、自动补液。

同时设备全自动，适用于多种工作环境、工艺要求高的工序，以及大尺寸晶圆清洗。

欢迎有此相关技术的专家老师与我们联系。